半导体工业用石墨制品有较低灰分、高纯的性能要求，一般需要用到高纯石墨，经过纯化工序可以达到5~50ppm，在半导体工业中，高纯石墨主要是作为加热系统、保温罩、电极等存在，采用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温、耐腐蚀这一特点。 高纯度石墨根据均匀细颗粒的特性可作为低原子序数材料，对离子、等离子具有较强的抗轰击能力和很强的抗腐蚀性，纯度高没有金属离 子不会对半导体产生污染。
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特性：
用途：
半导体工业用石墨制品有较低灰分、高纯的性能要求，一般需要用到高纯石墨，经过纯化工序可以达到5~50ppm，在半导体工业中，高纯石墨主要是作为加热系统、保温罩、电极等存在，采用高纯石墨做这些部件也是充分利用了高纯石墨耐高温、耐腐蚀这一特点。 高纯度石墨根据均匀细颗粒的特性可作为低原子序数材料，对离子、等离子具有较强的抗轰击能力和很强的抗腐蚀性，纯度高没有金属离 子不会对半导体产生污染。
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